전자

전자 산업을 위한 산업용 가스 공급 및 장비

귀사의 사업을 재충전하십시오

당사는 고객이 더 우수한 제품을 제조하도록 전자 재료의 품질을 높이고 있습니다. 저희는 반도체, 평판 디스플레이, LED 및 태양열 시장에서, 고객들이 전세계를 연결시키기 위해 필요로 하는 재료들을 공급합니다.  최고 순도의 산업용 가스에서부터 최고 품질의 스퍼터링 타겟 및 액상 전구체에 이르기까지, 당사는 고객이 차별화 기회를 포착하여 실현시키도록 고객과 협력합니다. 저희 프렉스에어에서는 고객이 성공하도록 도움을 얼마나 잘 주는지에 의하여 성공을 측정합니다.

당사가 관련 산업에 어떻게 기여하는지에 대해 알아보십시오.

전자 산업을위한 산업 가스

질소 질소 질소

냉각 및 퍼지 응용공정에 흔히 사용되는 질소는 전자제품과 반도체 생산에 반드시 필요합니다.

아르곤 아르곤 아르곤

안정성이 높고 반응도가 극히 낮은 아르곤은 태양열 및 반도체 웨이퍼 생산에 사용되는 대단히 중요한 가스입니다.

수소 수소 수소

매우 다양한 전자제품 제조업체에서 사용되는 수소는 박막 증착용 운반 기체 역할을 하고 용해로 처리에서 환원제 역할을 합니다.

헬륨 헬륨 헬륨

평판 디스플레이 시장에 매우 중요한 헬륨은 냉각제로 사용되며, 반도체 소자를 제조하는 데 필요한 통제된 환경을 만드는 데 있어서도 핵심 요소입니다.

Silane 실란

실란은 반도체, 디스플레이 및 태양열 산업에서 비결정 및 폴리실리콘 막의 박막 증착용 핵심 원료입니다.

암모니아

암모니아는 질화물 기반 박막과 에피택시얼 결정의 성장에 사용되는 가장 흔한 질소 전구체입니다. LED 산업에서 에피택시얼 결정 응용기술에 초 고순도가 매우 중요합니다.

이산화탄소 이산화탄소 이산화탄소

고순도 이산화탄소는 세정 공정에서 초미립자의 제거를 지원하며, 주요 반도체 레이어의 건조 중에 포토레지스트의 붕괴를 방지합니다.

Dichlorosilane 디클로로실란

반도체 및 태양열 산업에서 디클로로실란은 저온에서 결정 실리콘 박막의 성장을 가능하게 만들며, 실란보다 성장률이 높습니다. 

Trichlorosilane 트리클로로실란

반도체 및 태양열 산업에서 사용되는 트리클로로실란은 저온에서 결정 실리콘 박막의 성장을 가능하게 만들며, 실란보다 성장률이 높습니다.

Phosphine 포스핀

포스핀은 반도체 및 태양열 제조 공정에서 n형 도핑을 위한 이온주입 공급원으로 사용되며, 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 n형 도핑을 위한 CVD 공급원으로 사용됩니다.

Arsine 아르신

아르신은 반도체 제조 공정에서 n형 도핑을 위한 이온주입 공급원으로 사용됩니다. 또한 반도체 및 태양전지에서 결정질 셀의 에피택시얼 성장을 위한 원료이기도 합니다.

전자 산업을 위한 산업용 제품

스퍼터링 타겟

스퍼터링 타겟

당사는 광범위한 연구와 꾸준한 개발을 통해, 전자 및 반도체 산업을 위한 모든 종류의 고품질 스퍼터링 타겟을 생산해왔습니다.

액상 전구체

액상 전구체

프렉스에어의 화학 및 금속학 연구원들은 high-k 유전체, 장벽, 시드 금속 및 금속 전극층의 제조에 사용되는 액상 전구체를 맞춤형 제작합니다. 당사는 이것을 고객의 시스템 요구사항을 충족시키기 위해 특별히 설계된 다양한 스테인리스강 앰풀에 담아서 출하합니다.

액상 전구체

액상 전구체

프렉스에어의 화학 및 금속학 연구원들은 high-k 유전체, 장벽, 시드 금속 및 금속 전극층의 제조에 사용되는 액상 전구체를 맞춤형 제작합니다. 당사는 이것을 고객의 시스템 요구사항을 충족시키기 위해 특별히 설계된 다양한 스테인리스강 앰풀에 담아서 출하합니다.

UpTime® 부-대기 가스 운반 시스템

UpTime® 부-대기 가스 운반 시스템

전세계적으로 안전하고 비용대비 효율적인 최고의 유해물질 운반 솔루션으로 인정받고 있는 당사의 UpTime® 시스템은 전자 및 반도체 산업에서 이온주입과 플라즈마 도핑 공정에 사용됩니다.

전자 산업을 위한 산업 서비스

전자 물류 서비스

반도체와 태양열 산업에서 최대의 정비 및 수리 부품 공급자 중 하나인 당사의 산업 전자 물류 서비스는 재고 관리에서부터 적시 납품에 이르기까지 모든 것을 제공합니다.